XRMR2020A 熱電堆專用 MEMS
產(chǎn)品名稱：XRMR2020A 熱電堆專用 MEMS
應(yīng)用領(lǐng)域： 軍工航天：武器裝備動(dòng)力系統(tǒng)和液壓控制分系統(tǒng)中，監(jiān)測(cè)和控制系統(tǒng)運(yùn)行狀態(tài)，進(jìn)而保障武器裝備運(yùn)行的安全性、機(jī)動(dòng)性和準(zhǔn)確性。工業(yè)自動(dòng)化控制：水利、石化、鍋爐、管道、反應(yīng)釜、井下壓力測(cè)量和控制。汽車領(lǐng)域：輪胎、發(fā)動(dòng)機(jī)歧管、剎車等系統(tǒng)的壓力測(cè)量和控制。空調(diào)行業(yè)：壓縮機(jī)高壓和低壓測(cè)量，利用壓力控制實(shí)現(xiàn)智能控溫和噪聲等性能優(yōu)化等。醫(yī)療行業(yè)：血壓計(jì)。
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詳情介紹DETAILS
產(chǎn)品特點(diǎn):
該產(chǎn)品基于IC集成電路平面工藝和MEMS微機(jī)械加工工藝的融合，可適應(yīng)多種受壓方式，采用無(wú)介質(zhì)硬封受壓結(jié)構(gòu)，低應(yīng)力匹配玻璃絕緣襯底。
案例展示CASE
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